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|---|---|---|
| 型号 | CAP-PT.100 | CAP-PT.200 |
| 量程： | 100μm | 200μm |
| 精度： | ≤100nm | ≤100nm |
| 分辨率(RMS，动态1kHz)： | ≤2nm | ≤2nm |
| 最小目标直径： | Ф9mm | Ф11mm |
| 探头材料： | 316 | 304 |
| 温飘： | －170nm/K | －170nm/K |
| 尺寸： | 14×14×15mm | 18×18×21mm |
| 安装方式： | 4x 螺纹M1.6/径向夹持 | 4x 螺纹M1.6/径向夹持 |
| 产品技术资料下载： | 参数下载 | |
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