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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-0140.02 | ||
| 通光孔径： | 100mm | 闭环轴角度分辨率： | 0.1μrad |
| 开环轴角度分辨率： | 0.05μrad | 内置传感器： | 电容传感器 |
| 偏转轴： | 2轴 | 镜面运动最大角度： | ±2.6mrad |
| 执行器： | 压电陶瓷 | 带载谐振频率(θx'θy)： | 500Hz |
| 质量： | 2kg | 线性度： | 0.2%F.S |
| 重复定位精度： | ≤±0.5μrad | 静电电容： | 19μF/轴±20% |
| 适配控制器型号： | AMP-400.200 | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
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