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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-040.02 | ||
| 闭环轴角度分辨率： | 0.1μrad① | 开环轴角度分辨率： | 0.05μrad |
| 内置传感器： | 应变传感器 | 偏转轴： | 2轴 |
| 镜面运动最大角度： | ±3mrad | 执行器： | 压电陶瓷 |
| 空载谐振频率(θx' θy)： | ＞1k | 转角中心到镜面安装面距离： | 6.5mm |
| 外形尺寸： | 55*42*60mm | 质量 ： | ＜400g |
| 线性度： | 0.1%F.S 0.02%F.S（20%行程） |
重复定位精度： | ±2.5μrad（100%行程） ±1μrad（20%行程） |
| 静电电容： | 6 μF/轴±20% | 适配控制器型号： | AMP-500.50 |
| 产品技术资料下载： | 资料下载 | ||
| 注:①标注的指标为使用16位控制器测试指标 | |||
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