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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-5640-PZT | ||
| 闭环轴角度分辨率： | 0.025μrad① | 开环轴角度分辨率： | 0.01μrad |
| 内置传感器： | 应变传感器 | 偏转轴： | 2轴 |
| 镜面运动最大角度： | ±0.75mrad | 执行器： | 压电陶瓷 |
| 空载谐振频率(θx' θy)： | ≥2kHz | 转角中心到镜面安装面距离： | 6.5mm |
| 外形尺寸： | 55*42*60mm | 质量 ： | 140g |
| 线性度： | 0.1%F.S 0.02%F.S（20%行程） |
重复定位精度： | ≤±0.5μrad |
| 静电电容： | 1.5 μF/轴±20% | 适配控制器型号： | AMP-400.200 / AMP-400.70 |
| 产品技术资料下载： | 资料下载 | ||
| 注:①标注的指标为使用16位控制器测试指标 | |||
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