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|---|---|---|---|
| 型号 | TM-0200 | ||
| 通光孔径： | 80mm~260mm（定制） | 闭环轴角度分辨率： | 0.1μrad |
| 开环轴角度分辨率： | 0.05μrad | 内置传感器： | 应变传感器 |
| 偏转轴： | 2轴 | 镜面运动最大角度： | ±0.3mrad~±1mrad |
| 执行器： | 压电陶瓷 | 带载谐振频率(θx'θy)： | 280Hz~800Hz（与负载相关） |
| 质量： | 1kg~25kg | 线性度： | 0.1%F.S |
| 重复定位精度： | ±1μrad~±3μrad(由行程决定) | 静电电容： | 10μF/轴±20%~60μF/轴±20% |
| 适配控制器型号： | AMP-400.600 | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
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