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|---|---|---|---|
| 型号 | FM-80.012 | ||
| 镜片： | 80mm | 行程： | ±0.6mm |
| 运动轴数： | 单轴 | 柔性机构（导向类型）： | 柔性铰 |
| 分辨率： | 0.1μm | 重复定位精度： | 0.4μm |
| 带载谐振频率： | ≥500Hz | 速度： | 0.4mm/s |
| 直线度： | ≤±2.5μm | 单步最小位移： | 1nm |
| 驱动力： | 20N | 外尺寸： | 143×67×65mm（不含镜片） |
| 负载最大质量： | 700g | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
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