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|---|---|---|---|
| 型号 | FSP-29.PZT | ||
| 闭环位移分辨率： | 3nm | 内置传感器： | 电容传感器 |
| 位移轴： | 2轴 | 最大位移行程： | ≥±30μm |
| 执行器： | 压电陶瓷 | 空载谐振频率(θx'θy)： | 1kHz |
| 通光口径： | 15mm | 外形尺寸： | 50*50*27 mm |
| 质量： | 110g | 线性度： | 0.1%F.S |
| 重复定位精度： | 10nm | 静电电容： | 0.7μF/轴±20% |
| 适配控制器型号： | AMP-400.50 | 产品技术资料下载： | 资料下载 |
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