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型号 FSM-840.02
镜⾯尺⼨: 30mm~45mm(可定制) 通光孔径: 30mm~45mm(可定制)
镜⾯材料: 融⽯英(可定制) 内置传感器: 电容传感器
运动轴数: 2轴 镜⾯偏摆⻆度(机械): ±0.5°~±1.5°
执行器: ⾳圈 外形尺⼨: 50mm×50mm×35mm
质量: ≤500g(不含电缆及连接器) ⻆度分辨率: 0.4μrad~1μrad(与定制⾏程有关)
重复定位精度: ±1μrad~±4μrad(与定制⾏程有关) 线性度: ≤0.5%
≤0.05%(数字校正后)
带宽: 300Hz~600Hz(与负载有关,1%F.S) 适配控制器型号: AMP-200.120
产品技术资料下载: 资料下载    
产品应用实例