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型号 | FSM-780.02 | ||
镜⾯尺⼨: | 80mm×60mm(椭圆) | 通光孔径: | 75mm×55mm(椭圆) |
镜⾯材料: | 融⽯英 | 内置传感器: | 电容传感器 |
运动轴数: | 2轴 | 镜⾯偏摆⻆度(机械): | ±0.5°~±1.5° |
执行器: | ⾳圈 | 外形尺⼨: | 80mm×80mm×55mm |
质量: | ≤500g(不含电缆及连接器) | ⻆度分辨率: | 0.4μrad~1μrad(与定制⾏程有关) |
重复定位精度: | ±1μrad~±4μrad(与定制⾏程有关) | 线性度: | ≤0.5% ≤0.05%(数字校正后) |
带宽: | 200Hz~500Hz(与负载有关,1%F.S) | 适配控制器型号: | AMP-200.150 |
产品技术资料下载: | 资料下载 |