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型号 | FSM-7220.02 | ||
镜⾯尺⼨: | 80mm~260mm | 通光孔径: | 80mm~260mm |
镜⾯材料: | 融⽯英 | 内置传感器: | 电容传感器 |
运动轴数: | 2轴 | 镜⾯偏摆⻆度(机械): | ≥±4mard |
执行器: | ⾳圈 | 外形尺⼨: | 定制 |
质量: | 定制 | ⻆度分辨率: | 0.2μrad |
重复定位精度: | ≤1μrad | 线性度: | ≤0.05% |
带宽: | 200Hz~400Hz(与负载有关,1%F.S) | 适配控制器型号: | AMP-200.600 |
产品技术资料下载: | 资料下载 |