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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-7154.02.010.CAP | ||
| 标准负载： | 160×110×16mm | 可定制负载： | ≤160×120×16mm |
| 机械偏转角度： | ±1° | 偏转轴数： | 2轴 |
| 内置传感器： | 电容传感器 | 闭环分辨率： | ≤1μrad |
| 重复定位精度： | ≤3μrad | 闭环带宽： | 150Hz@1%F.S |
| 线性度： | ≤0.05%F.S① | 转轴至反射面距离： | 18mm② |
| 外形尺⼨： | 200×164×101mm | 重量： | ≤3.5kg(不含电缆及连接器) |
| 产品技术资料下载： | 资料下载 | ||
| 注：①标定后线性度 ②根据负载厚度变化 | |||
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