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型号 FSM-620.02.100.OPT
标准负载: 20×15×2mm(椭圆) 机械偏转角度: ≥±10°
偏转轴数: 2轴 内置传感器 光电传感器
闭环分辨率: ≤20μrad 重复定位精度: ≤80μrad
闭环带宽: ≥30Hz @±10° 线性度: ≤0.5%F.S
阶跃响应时间 ≤3ms@0-0.1°
≤20ms@0-10°
转轴至反射面距离: 3mm
外形尺⼨: 39×39×27mm 重量: ≤105 g(标准负载)
产品技术资料下载: 参数下载    
注:①标定后线性度  ②根据负载厚度变化
产品应用实例