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|---|---|---|---|
| 型号 | FSM-620.02.100.OPT | ||
| 标准负载: | 20×15×2mm(椭圆) | 机械偏转角度: | ≥±10° |
| 偏转轴数: | 2轴 | 内置传感器 | 光电传感器 |
| 闭环分辨率: | ≤20μrad | 重复定位精度: | ≤80μrad |
| 闭环带宽: | ≥30Hz @±10° | 线性度: | ≤0.5%F.S |
| 阶跃响应时间 | ≤3ms@0-0.1° ≤20ms@0-10° |
转轴至反射面距离: | 3mm |
| 外形尺⼨: | 39×39×27mm | 重量: | ≤105 g(标准负载) |
| 产品技术资料下载: | 参数下载 | ||
| 注:①标定后线性度 ②根据负载厚度变化 | |||



